Verfahren zur Strukturierung von Graphenschichten durch Photolithographie zur Skalierbaren Herstellung von Graphenvorrichtungen
EP4546050
Art A1
30. April 2025
Anmelder: Valstybinis Moksliniu Tyrimu Institutas Fiziniu Ir Technologijos Mokslu Centras 🇱🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4546050
- Aktenzeichen
- EP23205083
- Anmeldetag
- 23. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 30. April 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039G03F7/095G03F7/20G03F7/40H01L29/16H01L29/786B82Y10/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Valstybinis Moksliniu Tyrimu Institutas Fiziniu Ir Technologijos Mokslu Centras
- Land
- 🇱🇹 Litauen
Kanzlei
AAA Law
Vilnius, Litauen
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