Ladungsträgerteilchkanone und System für Ladungsträgerteilchenstrahlen

EP4546392 Art B1 18. Februar 2026

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4546392
Aktenzeichen: EP24206979
Anmeldetag: 16. Oktober 2024
Veröffentlichung: 18. Februar 2026
Erteilung: 18. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J3/02H01J37/06H01J37/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von