Verfahren zur Bestimmung einer Absoluten Position eines Beweglichen Objekts, Interferometersystem, Projektionssystem und Lithografische Vorrichtung

EP4548039 Art A1 7. Mai 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4548039
Aktenzeichen: EP23730003
Anmeldetag: 25. Mai 2023
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02002G01B9/02001G01B9/02015G01B9/02055

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von