Verfahren und System zur Reinigung Optischer Elemente in Optischen Euv-Systemen
EP4548076
Art A1
7. Mai 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4548076
- Aktenzeichen
- EP23832118
- Anmeldetag
- 7. Juni 2023
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/15G01N21/17G01N21/88G01N21/94G01N21/956G03F1/84G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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