Zyklische Entwicklung von Metalloxid-Photolacken zur Verhinderung von Ätzstopps

EP4548160 Art A1 7. Mai 2025

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4548160
Aktenzeichen: EP23832604
Anmeldetag: 29. Juni 2023
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/36G03F7/004G03F7/16H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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