Module für Abgabesysteme und Zugehörige Verfahren

EP4548382 Art A1 7. Mai 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4548382
Aktenzeichen
EP23832317
Anmeldetag
28. Juni 2023
Veröffentlichung
7. Mai 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/67C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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