Strömungstechnisch- und Temperaturoptimierte Vakuumpumpe

EP4549740 Art A3 22. Oktober 2025

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4549740
Aktenzeichen
EP25164817
Anmeldetag
19. März 2025
Veröffentlichung
22. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die einen Holweck-Rotor und einen Holweck-Stator umfasst. Der Holweck-Rotor umfasst eine Rotorwelle mit einer daran vorgesehenen Nabe sowie zumindest zwei an der Nabe vorgesehene Holweck-Rotorhülsen, welche die Rotorwelle konzentrisch umgeben, wobei eine radial innere Holweck-Rotorhülse einen ersten Durchmesser und eine radial äußere Holweck-Rotorhülse einen zweiten Durchmesser aufweist. Der Holweck-Stator umfasst zwischen den beiden Holweck-Rotorhülsen eine zu diesen konzentrische Holweck-Statorhülse, welche ein an einem stationären Gehäuseabschnitt der Vakuumpumpe angebrachtes festes Ende, ein dem festen Ende in axialer Richtung gegenüberliegendes freies Ende sowie eine Innenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Innengewinde und eine Außenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Außengewinde aufweist. Der zweite Durchmesser der radial äußeren Holweck-Rotorhülse ist mindestens 30% größer als der erste Durchmesser der radial inneren Holweck-Rotorhülse.

Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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