Röntgeninspektionssystem zur Inspektion eines Objekts

EP4549919 Art A1 7. Mai 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4549919
Aktenzeichen: EP24208471
Anmeldetag: 23. Oktober 2024
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/04H01J29/50H01J35/06H05G1/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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