Auf Maschinenlernen Basierendes Werkzeug zur Charakterisierung Einzelner Oxiddefekte

EP4549964 Art A1 7. Mai 2025

Anmelder: Imec VZW, Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4549964
Aktenzeichen: EP23207819
Anmeldetag: 5. November 2023
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28G01R31/26H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Imec VZW
Katholieke Universiteit Leuven KU Leuven Research & Development
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 KU Leuven Research & Development

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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