Lithographiemaske für Extreme Ultraviolettstrahlung

EP4553575 Art A1 14. Mai 2025

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4553575
Aktenzeichen: EP23209193
Anmeldetag: 10. November 2023
Veröffentlichung: 14. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/54G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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