Quelle, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Reinigung einer Quelle Geladener Teilchen, Verfahren zur Reinigung einer Komponente einer Beurteilungsvorrichtung

EP4553885 Art A1 14. Mai 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4553885
Aktenzeichen: EP23208804
Anmeldetag: 9. November 2023
Veröffentlichung: 14. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/07H01J37/06// H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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