Spiegel für eine Projektionsbelichtungsanlage

EP4555358 Art A1 21. Mai 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4555358
Aktenzeichen: EP23739515
Anmeldetag: 6. Juli 2023
Veröffentlichung: 21. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G03F7/00G02B5/18G02B27/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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