Verfahren zur Charakterisierung eines Diffraktiven Optischen Elements sowie Verfahren zur Herstellung eines Diffraktiven Optischen Elements unter Durchführung des Charakterisierungs-Verfahrens

EP4555359 Art A1 21. Mai 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4555359
Aktenzeichen: EP23741039
Anmeldetag: 11. Juli 2023
Veröffentlichung: 21. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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