Vakuumventileinrichtung und System umfassend eine Vakuumpumpe und eine Vakuumventileinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4556771

Aktenzeichen

EP25166623

Anmeldetag

27. März 2025

Veröffentlichung

22. Oktober 2025

Rechtsraum

EP

IPC

F16K51/02F16K27/02F16K31/06F16K37/00

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumventileinrichtung mit einem Ventilgehäuse (22), das einen Gaseinlass und einen Gasauslass aufweist, die durch einen Durchgangskanal miteinander in Verbindung stehen, der durch einen bewegbar angeordneten und in einer Schließstellung mit einem Ventilsitz (34) zusammenwirkenden Ventilkörper selektiv gasdicht sperrbar ist, wobei zumindest ein in die Ventileinrichtung integrierter Gasdrucksensor (46) vorgesehen ist, mit dem ein in einem ihm zugeordneten Abschnitt des Durchgangskanals herrschender Gasdruck bestimmbar ist. Die Erfindung betrifft ferner ein System umfassend eine Vakuumpumpe und eine solche Vakuumventileinrichtung. Die Erfindung betrifft ferner ein System zumindest umfassend eine solche Vakuumventileinrichtung und eine Vakuumpumpe.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete