Verfahren und Anordnungen zur Wellenlängenkalibrierung

EP4556869 Art A1 21. Mai 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4556869
Aktenzeichen: EP23210087
Anmeldetag: 15. November 2023
Veröffentlichung: 21. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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