Elektromechanisches Mikrosystem in Form einer Piezoelektrischen Resonanzmembran auf Basis einer Alpha-Quarzschicht und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP4558449 Art A1 28. Mai 2025

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, UNIVERSITE DE MONTPELLIER 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4558449
Aktenzeichen: EP23744798
Anmeldetag: 20. Juli 2023
Veröffentlichung: 28. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B81C1/00H10N30/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique
UNIVERSITE DE MONTPELLIER
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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