Abbildendes Ellipsometer zur Flächigen Schichtdickenmessung einer Probe und Verfahren mit einem Abbildenden Ellipsometer

EP4558787 Art A1 28. Mai 2025

Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4558787
Aktenzeichen: EP23745159
Anmeldetag: 21. Juli 2023
Veröffentlichung: 28. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06G01N21/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN
Land: 🇦🇹 Österreich

🇦🇹 Technische Universität Wien

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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