System und Verfahren zum Zählen von Partikeln auf einem Detektor Während der Inspektion

EP4558845 Art A1 28. Mai 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4558845
Aktenzeichen: EP23745140
Anmeldetag: 20. Juli 2023
Veröffentlichung: 28. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01T1/17H01L27/00H04N5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation

Vertreten von