Verfahren zur Bestimmung einer Optischen Eigenschaft einer Mehrschichtigen Struktur

EP4560400 Art A1 28. Mai 2025

Anmelder: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, Stichting VU, Universiteit van Amsterdam, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4560400
Aktenzeichen: EP23212371
Anmeldetag: 27. November 2023
Veröffentlichung: 28. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N23/00G02B21/36G01N21/84G01N21/956G01N21/47

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
Stichting VU
Universiteit van Amsterdam
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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