Rastersondenmikroskop für Grossflächige und Verfahren für Grossflächiges Rotationsscanning mit Hohem Durchsatz
EP4564013
Art B1
11. März 2026
Anmelder: Valstybinis Moksliniu Tyrimu Institutas Fiziniu Ir Technologijos Mokslu Centras, Vilniaus Universitetas 🇱🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4564013
- Aktenzeichen
- EP24204568
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2024
- Veröffentlichung
- 11. März 2026
- Erteilung
- 11. März 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01Q10/02G01Q10/04G01Q10/06
Abstract
A method and apparatus for scanning probe-based surface characterization is disclosed which allows high scanning velocities and data throughput and is suitable for large samples. A combination of rotational and linear translation is used for scanning the probe by concentric circle or spiral trajectories in overlapping ring patterns. A method and apparatus for rapid control of tilt-related probe-sample separation distance and suitable for such scanning pattern is described.
Anmelder
- Firmen
- Valstybinis Moksliniu Tyrimu Institutas Fiziniu Ir Technologijos Mokslu Centras
Vilniaus Universitetas - Land
- 🇱🇹 Litauen