Verfahren zur Entfernung von Rückständen von einer Substratoberfläche

EP4564404 Art A1 4. Juni 2025

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4564404
Aktenzeichen: EP23213742
Anmeldetag: 1. Dezember 2023
Veröffentlichung: 4. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L21/02H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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