Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung von Multifokaler Bildgebung

EP4565922 Art A1 11. Juni 2025

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4565922
Aktenzeichen: EP23761301
Anmeldetag: 2. August 2023
Veröffentlichung: 11. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H01S3/13H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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