Gasmischung als Co-Gas für Ionenimplantate

EP4566085 Art A1 11. Juni 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4566085
Aktenzeichen
EP23850579
Anmeldetag
29. Juni 2023
Veröffentlichung
11. Juni 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/265H01L21/67H01L21/673C23C16/455H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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