Materialentfernungsvorrichtung und Verfahren zum Entfernen von Material von einem Objektträger

EP4567872 Art A3 12. November 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4567872
Aktenzeichen: EP25169453
Anmeldetag: 9. April 2025
Veröffentlichung: 12. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/683H01L21/687H01J37/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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