Verfahren und Materialien zum Polieren von Materialien

EP4569040 Art A1 18. Juni 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4569040
Aktenzeichen
EP23853312
Anmeldetag
9. August 2023
Veröffentlichung
18. Juni 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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