Auf Bereichsdichte Basierender Fehlausrichtungsindex zur Bildausrichtung

EP4569471 Art A1 18. Juni 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4569471
Aktenzeichen: EP23750943
Anmeldetag: 27. Juli 2023
Veröffentlichung: 18. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/00G06T7/32G06T7/33G01R31/303

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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