Baugruppe für eine Optische Komponente

EP4571383 Art A1 18. Juni 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4571383
Aktenzeichen: EP24218334
Anmeldetag: 9. Dezember 2024
Veröffentlichung: 18. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/18G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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