Optischer Verstärker und Komponenten dafür

EP4574233 Art A1 25. Juni 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V., TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4574233
Aktenzeichen: EP23219339
Anmeldetag: 21. Dezember 2023
Veröffentlichung: 25. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B01D45/16H01S3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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