Verfahren zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht, Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung, Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Materialschicht

EP4575032 Art A1 25. Juni 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4575032
Aktenzeichen: EP23219125
Anmeldetag: 21. Dezember 2023
Veröffentlichung: 25. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/04C23C16/455C23C16/48C30B25/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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