Systeme und Verfahren zur Analyse einer Probe mit Geladenen Teilchenstrahlen und Aktiven Pixelsteuerungssensoren

EP4575475 Art A1 25. Juni 2025

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4575475
Aktenzeichen: EP24218633
Anmeldetag: 10. Dezember 2024
Veröffentlichung: 25. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2251H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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