Vergrössernde Abbildende Optik für ein Metrologiesystem zur Untersuchung von Objekten
EP4575605
Art A1
25. Juni 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4575605
- Aktenzeichen
- EP24212390
- Anmeldetag
- 12. November 2024
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank