Leed- und Ptychographiebasierte Oberflächenprofilbestimmung

EP4575645 Art A1 25. Juni 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4575645
Aktenzeichen: EP23218877
Anmeldetag: 20. Dezember 2023
Veröffentlichung: 25. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N23/20058H01J37/29H01J37/295

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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