Optische Ladungsteilchenvorrichtung, Optisches Ladungsteilchenmodul, Verfahren zur Projektion mehrerer Ladungsteilchenstrahlen auf eine Probe

EP4576155 Art A1 25. Juni 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4576155
Aktenzeichen: EP23217694
Anmeldetag: 18. Dezember 2023
Veröffentlichung: 25. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von