Kühlvorrichtung und Kühlvorbereitungsverfahren

EP4576156 Art A3 8. Oktober 2025

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4576156
Aktenzeichen: EP24212480
Anmeldetag: 12. November 2024
Veröffentlichung: 8. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/24H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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