Optisches Modul für Geladene Teilchen, Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren zur Verwendung einer Vorrichtung für Geladene Teilchen
EP4576158
Art A1
25. Juni 2025
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4576158
- Aktenzeichen
- EP23217732
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 25. Juni 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven