Vorrichtung und Verfahren mit Quarzkristallmikrowaage und Durchflusszelle

EP4577829 Art A1 2. Juli 2025

Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4577829
Aktenzeichen: EP23758256
Anmeldetag: 14. August 2023
Veröffentlichung: 2. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N29/02G01N29/036G01N29/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von