Vertikale Strahllenkung mit einem Mems-Phasenarray für Lidar-Anwendungen

EP4577851 Art A1 2. Juli 2025

Anmelder: Silicon Light Machines Corporation, SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4577851
Aktenzeichen: EP23857994
Anmeldetag: 22. August 2023
Veröffentlichung: 2. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01S7/481G01S17/00G01S17/931G01S17/933G05D1/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Silicon Light Machines Corporation
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von