Biosensor, Bestehend aus einem Sensorwafer mit auf der Rückseite Geätzten Aussparungen, die Komplementär zu den auf der Vorderseite Geätzten Aussparungen eines Mikrofluoridischen Wafers Sind

EP4579216 Art A1 2. Juli 2025

Anmelder: IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4579216
Aktenzeichen: EP24178430
Anmeldetag: 28. Mai 2024
Veröffentlichung: 2. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/03G01N21/77B01L3/00G01N27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 IHP – Innovations for High Performance Microelectronics

Deutsches Forschungsinstitut (Leibniz-Institut) mit Sitz in Frankfurt (Oder), das an Hochleistungs-Mikroelektronik forscht, darunter Silizium-Germanium-Technologien und Halbleiterschaltungen für Kommunikations- und Sensoranwendungen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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