Fluorierte Alkoxide und Amide Enthaltende Vorprodukte

EP4581038 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4581038
Aktenzeichen
EP23861295
Anmeldetag
31. August 2023
Veröffentlichung
9. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/00C07F7/28C07F17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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