Zusammensetzungen für Extrem-Ultraviolett-Lithografie und Zugehörige Verfahren
EP4581039
Art A1
9. Juli 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4581039
- Aktenzeichen
- EP23861245
- Anmeldetag
- 30. August 2023
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/22G03F7/075G03F7/004
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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