Modulares Dampfabgabesystem für Halbleiterprozesswerkzeuge

EP4581187 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4581187
Aktenzeichen: EP23861432
Anmeldetag: 21. August 2023
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/448C23C16/44C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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