System und Verfahren zur Detektion von Partikeln mit einem Detektor Während der Inspektion

EP4581685 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4581685
Aktenzeichen: EP23751599
Anmeldetag: 1. August 2023
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/115H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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