Pellikel für Extrem-Ultraviolett-Lithografie auf Basis von Metallcarbid-Nanoröhrchen und Verfahren zur Herstellung davon

EP4582868 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: Korea Electronics Technology Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4582868
Aktenzeichen: EP24219668
Anmeldetag: 13. Dezember 2024
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Korea Electronics Technology Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Electronics Technology Institute

Staatlich gefördertes südkoreanisches Forschungsinstitut für Elektronik- und IT-Technologien mit Sitz in Seongnam, das Unternehmen bei Entwicklung und Kommerzialisierung neuer Technologien unterstützt.

568 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von