Verfahren zur Verringerung der Dicke einer Schicht aus einem Piezoelektrischen Material

EP4583401 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4583401
Aktenzeichen: EP24220415
Anmeldetag: 17. Dezember 2024
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H03H3/02H03H3/08H03H9/02H03H3/04H03H9/17// H01L21/3105H01L21/20H10N30/00H10N30/072H10N30/086

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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