Verfahren zum Erwärmen eines Substrats, Substratheizer und Thermisches Laserverdampfungssystem

EP4584419 Art A1 16. Juli 2025

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4584419
Aktenzeichen: EP22813942
Anmeldetag: 3. November 2022
Veröffentlichung: 16. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54C23C14/28H01L21/67G05D23/00F27D21/00B01J19/12C30B25/10C30B23/06G01J1/42G01J5/061G05D23/27H05B1/02H01J37/32H01L21/31C23C14/08

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Abstract

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Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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