Vakuumsystem und Verfahren zum Betreiben eines Solchen

EP4585807 Art A1 16. Juli 2025

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4585807
Aktenzeichen
EP25176783
Anmeldetag
15. Mai 2025
Veröffentlichung
16. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F16K51/02
Offizieller Volltext

Abstract

Ein Vakuumsystem umfasst zumindest eine Vakuumpumpe und zumindest eine Ventileinrichtung. Die Vakuumpumpe umfasst ein Pumpengehäuse, das einen Pumpeninnenraum definiert. Die Ventileinrichtung umfasst ein Wegeventil, das zumindest drei separate Anschlüsse umfasst und in zumindest zwei verschiedene Schaltstellungen bringbar ist. In zumindest einer der Schaltstellungen des Wegeventils ist zumindest ein Kanal von dem Pumpeninnenraum der Vakuumpumpe über zumindest einen der Anschlüsse des Wegeventils zu zumindest einem anderen der Anschlüsse des Wegeventils ausgebildet.

Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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