Vakuumsystem und Verfahren zum Betreiben eines Solchen
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4585807
- Aktenzeichen
- EP25176783
- Anmeldetag
- 15. Mai 2025
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F16K51/02
Abstract
Ein Vakuumsystem umfasst zumindest eine Vakuumpumpe und zumindest eine Ventileinrichtung. Die Vakuumpumpe umfasst ein Pumpengehäuse, das einen Pumpeninnenraum definiert. Die Ventileinrichtung umfasst ein Wegeventil, das zumindest drei separate Anschlüsse umfasst und in zumindest zwei verschiedene Schaltstellungen bringbar ist. In zumindest einer der Schaltstellungen des Wegeventils ist zumindest ein Kanal von dem Pumpeninnenraum der Vakuumpumpe über zumindest einen der Anschlüsse des Wegeventils zu zumindest einem anderen der Anschlüsse des Wegeventils ausgebildet.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum Technology AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
332 Patente in unserer Datenbank