Steuerungssystem, Verarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4586044 Art A1 16. Juli 2025

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4586044
Aktenzeichen: EP24218317
Anmeldetag: 9. Dezember 2024
Veröffentlichung: 16. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G05D7/06C23C16/00H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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