Plasmaquellensystem für Mischgasspezies

EP4586299 Art A3 10. September 2025

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4586299
Aktenzeichen: EP24221511
Anmeldetag: 19. Dezember 2024
Veröffentlichung: 10. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/08H01J27/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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