Einkristall-Siliciumsubstrat mit Nitrid-Halbleiterschicht und Verfahren zur Herstellung eines Einkristall-Siliciumsubstrats mit Nitrid-Halbleiterschicht
EP4589057
Art A1
23. Juli 2025
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4589057
- Aktenzeichen
- EP23865060
- Anmeldetag
- 12. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B29/38C23C16/34C30B25/18C30B29/36H01L21/20H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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