Metrologieverfahren und Zugehörige Vorrichtung

EP4589380 Art A1 23. Juli 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4589380
Aktenzeichen: EP24152530
Anmeldetag: 18. Januar 2024
Veröffentlichung: 23. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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